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关于单片机在热处理设备外延炉中的应用浅析
本文ID:120462
(字数:7252)
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XCLW5515 关于单片机在热处理设备外延炉中的应用浅析 (字数:7252)
摘要
随着科技和技术的发展,单片机在各个领域发展的越来越快并且越来越熟练,其中在热处理设备的应用就是一个很好的例子。由于热处理设备工况复杂 、条件恶劣和人为可操控性差等特点 ,自动化控制一直是热处理设备的研究热 点。 早在 20 世纪 80 年代,单片机就应用到热处理设备的控制中。 本文通过对单片机在国外、国内的应用情况以及在热处理设备外延炉中的应用情况进行分析, 为从事热处理控制研究人员提供参考。
关键词 单片机; 热处理设备外延炉;自动化控制; 应用与分析
目录
摘要
I
目录
I
第1章 国内外研究状况
1
1.1国外研究现状
1
1.2国内研究现状
2
第2章 单片机在热处理设备外延炉中的应用
4
2.1单片机在AMC外延炉中的应用
4
2.1.1 热处理过程的工艺参数控制
4
2.1.2 数据信息管理控制
5
2.1.3生产线整体控制
6
2.2单片机在CSD外延炉中的应用
7
2.2.1单片机在CSD设备中具体的作用
7
2.2.2单片机在CSD设备的失效分析
8
2.3单片机在LPE 2061外延炉中的应用
8
2.3.1单片机在LPE设备中的应用
8
2.3.2单片机在LPE设备中的失效分析
9
2.4单片机在硅外延设备应用中的不足
9
第3章 总结
10
参考文献
11
致谢
12
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2021-05-27 15:00:15【
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