压阻式传感器在压力方面的技术应用

论文编号:JD758  设计字数:13358,页数:24

摘  要

传感器是将感受的物理量、化学量等信息，按一定规律转换成便于测量和传输的信号的装置。
电信号易于传输和处理，所以大多数的传感器是将物理量等信息转换成电信号输出的。例如传声器(话筒)就是一种传感器，它感受声音的强弱，并转换成相应的电信号。又如电感式位移传感器能感受位移量的变化，并把它转换成相应的电信号。
传感器感受一种量并把它转换成另一种量，这种转换也可以看成是能量的转换，因此在某些领域如生物医学工程等中，也称为换能器。
传感器主要用于测量和控制系统，它的性能好坏直接影响系统的性能。在自动测量过程或控制系统中，首先由传感器感受被测量，而后把它转换成电信号，供显示仪表指示或用以控制执行机构。如果传感器不能灵敏地感受被测量，或者不能把感受到的被测量精确地转换成电信号，其他仪表和装置的精确度再高也无意义。

关键词：传感器，测量，控制

目  录
第1章 前言 1
第2章 传感器 2
2.1 传感器 2
2.2 传感器选用原则 3
2.2.1 根据测量对象与测量环境确定传感器的类型 3
2.2.2 灵敏度的选择 3
2.2.3 频率响应特性 3
2.2.4 线性范围 4
2.2.5 稳定性 4
2.2.6 精度 4
2.3 在科学技术中的应用 5
2.3.1 更高精度的测量 5
2.3.2 高速度的测量 5
2.3.3 分布参量的测量 5
2.3.4 难以涉及区域的测量 5
2.4 发展阶段 5
2.4.1 对传感器技术开发十分重视 5
2.4.2 重视工艺研究 6
2.4.3 重视质量管理与市场分析 6
2.5 传感器的发展方向 7
2.5.1 向高精度发展 7
2.5.2 向高可靠性、宽温度范围发展 7
2.5.3 向微型化发展 7
2.5.4 向微功耗及无源化发展 8
2.5.5 向智能化数字化发展 8
2.6 电阻式传感器的定义和种类 8
2.6.1 电阻式传感器 8
2.6.2 电阻应变式传感器 8
2.6.3 压阻式传感器 8
2.6.4 压阻式传感器的特点 8
第3章 压阻传感器原理及应用 10
3.1 压阻式传感器 10
3.2 压阻式压力传感器的特性 10
3.2.1致敏感元件设计 11
3.2.2 传感器设计 11
3.2.3 结论 12
3.3 供电及信号处理电路 12
3.3.1 供电电路 12
3.3.2 处理电路 14
3.4 典型应用 14
第4章 压阻式压力传感器温度补偿设计 16
4.1 误差来源 16
4.2 温度补偿原理与电路设计 17
4.2.1零位温漂补偿 17
4.2.2 灵敏度温度补偿 17
4.2.3 整体性能设计 18
4.3实验结果 18
4.4 结论 18
第5章 结论 19
参考文献 20
致  谢 21