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多晶硅铸锭炉生产流程设计

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XCLW102964 多晶硅铸锭炉生产流程设计

多晶硅铸锭炉生产流程

摘要：

多晶硅铸锭炉，主要由炉体、炉盖、气路控制仪和支架所组成，炉体固定在支架上，炉盖位于炉体下端，启闭炉盖的炉盖提升装置位于支架上，该炉盖提升装置的丝杆下端与炉盖轴接，炉盖上设坩埚支架，坩埚支架内设坩埚，隔热体架与坩埚支架上端扣合，隔热体架提升机构位于炉体上端面，隔热体架提升机构的丝杆下端密封穿过炉体与隔热体架上端连接，各电器元件置在炉体上端面。

关键词：多晶硅铸锭炉；炉体；隔热架

目录

引言4

第一章简述多晶硅铸锭炉5

1.1 多晶硅铸锭炉的组成5

1.1.1 主炉体5

1.1.2 真空泵系统6

1.1.3 配电柜7

1.1.4 控制柜7

1.1.5 冷却水系统8

1.2 多晶硅铸锭炉的作用9

1.3 多晶硅铸锭炉的特点9

1.4 多晶硅铸锭炉的技术10

1.5多晶硅铸锭炉的工作原理10

第二章常见故障处理措施10

2.1 停电处理措施10

2.2 停水处理措施12

2.3 泄漏报警处理措施13

第三章我的工作14

3.1 概述15

3.2 装炉准备17

3.3 运行17

3.3.1 加热18

3.3.2 熔化18

3.3.3 长晶19

3.3.4 退火20

3.3.5 冷却21

3.3.6 程序结束21

3.4 出炉21

3.5 铸锭炉安全操作规程22

3.6 硅锭卸锭22

3.7 硅锭分级23

结论24

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