五米激光滚珠丝杠副动态测量系统设计

用于系统验收的标准丝杠的基本参数如图3所示。
图3 标准丝杠基本参数
主要检定项目及检定结果如下：
（1）周期误差示值分散性
用陕西汉江机床有限公司的一根标准试验丝杠（汉江T50×8×1000）在仪器上通过转位（0°、90°、180°、270°、360°）5次测量，将相对应的5条周期误差曲线相比较，其分散性应≤1.0 um，经测量，其实测值为1.0 um，见图4。
1 —— 0°，2 —— 90°，3 —— 180°，4 —— 270°，5 —— 360°
图4 周期误差示值分散性
（2）一次安装多次测量的示值重复性
用标准试验丝杠（汉江T50×8×1000）在仪器上一次安装，将全长范围内四次测量结果进行比较，其示值变化应≤1.5 um/1000mm，经测量，其实测值为1.2 um/1000mm，见图5。
1～4 —— 第一～四次测量曲线
图5 一次安装多次测量的示值重复性
多次安装测量的示值重复性
用标准试验丝杠（汉江T50×8×1000）在仪器上通过转位（0°、90°、180°、270°、360°）5次测量，再调头一次，共测得10条误差曲线（如图5.3.4，图5.3.5）。分别求得相应长度（2π、25 mm、100 mm、300 mm、1000 mm）全长的单次测量值，然后计算出单次测量精度。测量结果如图6，7所示。

1 —— 0°，2 —— 90°，3 —— 180°，4 —— 270°，5 —— 360°
图6 正向行程各转位测量曲线
1 —— 0°，2 —— 90°，3 —— 180°，4 —— 270°，5 —— 360°
图7 反向行程各转位测量曲线
表5 单次测量精度（）
丝杠名称分段 2π ≤25 mm ≤100 mm ≤300 mm  ≤1000mm
T型丝杠允差 1.0 1.0 1.4 2.0 3.0
3实测 0.89 0.97 1.4 2.9 2.8
（4）仪器总不确定度
用试验丝杠（汉江T50×8×1000）对测量仪进行检定，从测量仪对试验丝杠测得的误差曲线中，取出试验丝杠所给定的母线的实测结果，并与试验丝杠所给定的值进行比较，其差值不应超出如下规定：
                          表6 差值允许值（）
2π ≤25 mm ≤100 mm ≤300 mm  ≤1000mm

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